REM-Untersuchungen
Im Rasterelektronenmikroskop (REM) können mittels eines Elektronenstrahls Bilder von Oberflächen auch in sehr hohen Vergrößerungen aufgenommen werden. Die REM-Bilder sind dabei keine lichtoptischen Bilder, sondern sie werden durch angeregte Elektronen aus der Probe erzeugt, die in einem Detektor erfasst werden können. Die Bilder besitzen eine hohe Auflösung und Tiefenschärfe. Damit ist das Rasterelektronenmikroskop ein ideales Werkzeug zur Untersuchung von Oberflächen, Bruchflächen sowie bei Korrosions- und Verschleißschäden.
Durch den EDX-Detektor können durch den Elektronenstrahl angeregte Röntgenquanten gemessen werden. Diese sind charakteristisch für das angeregte Element, so dass sehr genau Elementzusammensetzungen nachgewiesen werden können. Dies geht auch an sehr kleinen Partikeln. Häufig setzen wir das Verfahren zur Fremdkörperuntersuchung z.B. bei Produktverunreinigungen oder zur Analysen von Spänen oder Fremdstoffen die in Maschinen oder Anlagen gefunden wurden ein.
Die Analysen erfolgen als Punktanalysen oder über definierte Flächenbereiche. Auch Linescans oder Mappings sind möglich.